那就现在走。不过,这次任务比较繁重,我们在京市光东工厂这边定下生产线后,还要去海城那边搞一条同样的生产线,你能出差吗?”
“完全没问题。”苏砚点头回道。
“行,那你现在就回去收拾东西,我就在这等着你。”曹主任也是个雷厉风行的人。
苏砚回宿舍简单收拾了几件换洗衣物,仅仅十分钟后就返回。
曹主任也没有二话,开车带着苏砚直奔国营光东工厂。
在曹主任的陪伴下,这里没有任何人为难看起来就很年轻的苏砚,大家都客客气气接受她的指导。
国营光东电工厂超净车间密闭无尘,恒温系统持续运转,滤尘设备发出细碎平稳的嗡鸣,消解了所有多余的声响。
整间车间笼罩在半导体工艺专用的暖黄色安全灯下,褪去了刺眼的白光,只为保护光刻胶涂层不受光线干扰。
空气里浮动着高纯氮气、光刻胶与有机溶剂交织的清冷淡味,每一寸空气都经过层层过滤,连飘落的微尘都近乎绝迹。
身着全套白色洁净服的众人包裹得严严实实,头罩、口罩、无菌手套、无尘鞋缺一不可,只露出一双双凝神专注的眼睛,在暖黄灯光下熠熠生辉。
苏砚伫立在光刻工艺操作台旁,身姿挺拔沉稳。
连日扎根车间通宵调试,她的眼底藏着淡淡的青黑,眉眼间却没有半分疲态,只剩极致的专注与笃定。
面前的操作台一尘不染,整齐摆放着待测试的硅片、精密镊子、刻度记录本与调试工具,页面上密密麻麻写满了迭代数百次的工艺参数。
栅氧生长温度、扩散炉恒温时长、光刻对准误差、源漏掺杂配比,每一组数据都是她依托成熟的DTL双极工艺,反复推翻、反复调试摸索出的关键依据。
身旁两名年轻技术员正俯身紧盯显微镜,反复核对刚出炉的PMOS管芯切片,神情紧绷,眉宇间藏着一丝焦灼。
这段时间,他们最大的难题始终是栅极边缘毛刺、局部掺杂不均,屡屡拉低硅片成品率,好几次即将成型的工艺参数,都因这两处瑕疵功亏一篑。
年轻技术员压着心底的忐忑,轻声汇报,声音被口罩闷得低沉含糊。
“苏工,这批试样还是老问题。光刻显影后,栅极线条边缘不够平滑,有细微毛刺,而且部分片区掺杂浓度偏差超标,达不到量产标准。
我们按照原DTL工艺参数微调过几次,偏差反而更大。”
苏砚闻言